图1 微流控芯片超声C扫描示意图
如图2所示,实验对象为两个具有不同流道宽度和布局的微流控芯片试样。微流控芯片上层材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS),下层材料为有机玻璃,二者以等离子键合。
图2 微流控芯片试样及流道示意图(单位:μm)
超声C扫描结果与探头类型、扫描步进等检测参数直接相关。基于此,研究人员对比了不同检测参数下的微流控芯片C 扫描图像,并分析流道表征结果。针对试样1,选用中心频率5MHz与10MHz的聚焦探头,扫描步进0.1mm,图3给出了对应的超声C扫描图像。结果显示,中心频率5MHz探头所得图像较为模糊;相比之下,随着检测频率提升,取向多变的流道轮廓表征效果得到改善。图4给出了C扫描图像中流道横截面区域的颜色幅值变化曲线。对比可见,5MHz探头检测时的流道间峰谷值波动较小,而10MHz检测频率下的曲线起伏明显,且相对更加平滑,有助于确定流道数量及变化。因此,应尽量选择高频(如10MHz以上)、小焦斑探头检测微细尺寸流道,以提升流道特征辨识能力。
图3 不同检测频率下的试样1超声C扫描图像
图4 不同检测频率C扫描图像流道横截面幅值变化曲线
扫描步进主要影响成像效率和检测效果。研究中利用中心频率10MHz探头,分别采用0.5mm、0.2mm和0.1mm扫描步进,对流道宽度200μm的试样1进行超声C扫描检测,结果如图5所示。在不同扫描步进下,均可辨识流道特征变化,但表征效果存在差异。结果显示,虽然检测频率和增益等参数相同,但流道宽度仅为200μm,扫描步进越大,越难以捕捉到流道区域的峰值信息,导致C扫描图像分辨力降低。因此,实际检测中应选择小的扫描步进检测微细尺寸流道,以提高流道表征分辨力和定量精度。
图5 不同扫描步进下的试样1超声C扫描图像
综上所述,微流控芯片流道宽度处于微米尺度,存在特征辨识困难的问题。该研究选取两种具有不同流道宽度和布局的典型微流控芯片,采用超声C扫描技术进行流道特征成像。利用标称中心频率15MHz、10MHz和5MHz的聚焦探头实施水浸C扫描检测,并分析中心频率、焦斑直径、扫描步进等关键参数对流道表征的影响。实验结果表明,对于流道宽度200μm的微流控芯片,当探头中心频率不低于10MHz、扫描步进不超过0.1mm时,成像分辨力和流道表征效果最佳,且流道中心间距测量误差不超过5%。
论文链接:
https://kns.cnki.net/kcms/detail/11.2121.O4.20221031.1742.002.html
审核编辑 :李倩
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