砷化镓基板晶面与晶向位置简析

对于做激光应用的砷化镓基板，晶向有很重要的应用。关乎了激光芯片的成品质量和合格率，通过在wafer上划片，劈裂，我们得到了die，一颗完整的die如下图所以，这个只是芯片的一个端面。

但是通常把这个面作为芯片的腔体面，也是激光器的解离面{110}晶面。

侧边倾斜是由于砷化镓的100面的倾斜。

定义：

  再来看看die在晶圆中的晶向位置：

（0-11）和（0-1-1）原本其实都可以作为出光面，但是实际的基板常有个倾斜问题，如第二幅图。因此（0-1-1）面是被抬高了旋转了，即基板以[0-11]晶向过圆心的直线为轴，向（011）面旋转一个角度，如下图的a角。

基板旋转，（100）晶向不再垂直于晶圆表面，因此（0-1-1）面也不垂直表面了。因此切割出的die所形成的锐角=90°-a角。

PS：英文版的晶向、晶面、晶向族的定义。

审核编辑：刘清