MEMS和微电子之间的联系 微系统加工工艺与微制造技术

MEMS是英文micro electro mechanical system的缩写，译作微电子机械系统，简称为微机电系统。顾名思义，MEMS是由微机械和微电子线路组成的微系统。它是从20世纪80年代发展起来的一种综合性的技术。微机电系统，在欧美称为MEMS，在日本通常称之为称为微机械（micromachining）。

MEMS被认为是微电子技术的又一次革 命，对21世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量都会有深远的影响。

通常，开发一个新的MEMS产品需要5年时间，这个产品进入市场还要一个5年时间。计算机辅助设计（CAD）软件包可以大大缩短开发和生产周期。

本课程主要介绍美国IntelliSense公司开发的MEMSCAD软件IntelliSuite6.3，学习如何利用它在硅片，上设计微传感器、微执行器以及进行模拟仿真。

 

编辑：黄飞