广州企业发布6英寸900V硅基氮化镓外延片

长平时代（广州）技术有限公司发布6英寸900V硅基氮化镓外延片。 该公司表示，该外延片专为新能源汽车电驱系统开发，以适用目前更高效的800V电压架构。并且该外延片基于国产设备开发，完全自主可控。 根据他们公布的实测参数，该产品不均匀性小于2%，10年寿命下外推工作电压达到991V，电流崩塌量有效控制在±5%以内，翘曲量控制在±30µm以内。 长平时代成立于2022年8月，专注于新型功率半导体材料与芯片的研发、设计、生产及销售。“行家说三代半”发现，该公司负责人是李祥东博士。

2021年4月至今，李祥东担任西安电子科技大学广州第三代半导体创新中心副主任。李祥东分别于2013年和2016年获西安电子科技大学微电子学士学位和硕士学位，2020年获比利时鲁汶大学（KU Leuven）欧洲微电子中心IMEC博士学位。

据介绍，西电的广州创新中心聚焦大尺寸氮化镓材料外延生长、氮化镓微波毫米波器件与集成电路、氮化镓电力电子器件与集成电路等技术领域。 该创新中心项目于2021年3月正式开建，建成后可达到折合6英寸氮化镓晶圆2000片/年以上的加工能力。 2022年5月26日，该项目实现首台大型设备搬入，设备现已到场99台（套），正在有序进行安装、调试工作，2023年初通线实现目标。

图1. 高品质900V硅基氮化镓外延片

图3. 击穿电压表征及TDDB寿命预测

编辑：黄飞