关于电子束光刻工艺技术解读
制造/封装
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描述
束流消除器：两个平行板电极之间的直流偏置(~42 v)是否垂直于电子路径，使电子偏离轴，从而“转动”关闭/阻塞/被下面的孔所覆盖。
编辑：黄飞
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