基于异质集成技术的5G射频滤波器

射频滤波器是移动通信射频前端的核心组件，目前我国5G终端滤波器供给严重依赖于美国和日本的数家巨头公司，已经对我国5G芯片产业发展形成战略制约和威胁。据Yole预测，滤波器的市场规模将从2017年的80亿美元增加到2023年的225亿美元，年复合增长率高达19%。

然而国产化率不足5%，国内适用于5G的高频宽带滤波器技术接近空白，射频滤波器芯片被《科技日报》列为35项卡脖子技术之一，急需发展有自主知识产权的高频、大带宽和高功率容量的高性能射频滤波器技术。声表面波（SAW）和体声波（BAW）滤波器凭借其优良的频率选择性、高Q值、低插入损耗等优势成为移动射频前端滤波器的主流选择。

相较于BAW，传统基于压电晶圆的SAW器件结构和工艺更简单，但其中心频率和Q值较低，温漂大，功率容量小。因此，如何在保持（类）声表面波器件的结构和工艺优势的同时提升其性能，使其满足5G通信应用需求，一直是产业界和学术界的焦点。

 

编辑：黄飞