StarRC教程-如何基于Dummy/Metal Fill GDS抽取寄生RC文件

背景：

Metal Fill或者说Dummy Metal对Timing是有影响的，在比较老的工艺、规模比较小的Design中影响是比较小的，甚至不考虑它们对于Timing的影响去流片也不是说一定不行（当然，如果有条件的话最好还是带着Dummy GDS文件去做RC抽取，然后做STA的Signoff）。但是，而随着工艺节点的缩小以及Design规模的增大，它对Timing的影响也变得逐渐不可忽略。

注：在Calibre中加的Dummy是小方块的metal/via，它对Timing的影响相对较小，而在PR工具中加的Rect对Timing的影响相对比较大，PR工具中加完Metal Fill之后也能看到它对Timing的影响，还能做Timing aware的Metal fill insertion，这种在StarRC抽取RC的时候也能考虑它们的影响。

Dummy对Timing的影响：

如下图所示是一个基于180nm工艺，非常大规模的几百万门的设计在用Calibre产生Dummy GDS之后，不带它和带上它做寄生RC抽取做STA分析的结果对比：

不带Dummy GDS的STA结果:

带Dummy GDS的STA结果:

整个Design的规模比较大，带上Dummy GDS去抽RC进行STA之后，发现Setup和Hold都有变差。

对Setup WNS的影响在小数点第三位，WNS恶化了(1.314942-1.310551)/1.310551=0.34%

TNS恶化了(1.712446-1.695256)/1.695256=1.01%

对Hold WNS的影响也在小数点后第三位，WNS恶化了

(0.053709-0.052008)/0.052008=3.27%

TNS恶化了(0.363444-0.326634)/0.326634=11.27%

因此其实只要Setup/Hold的margin留的比较足，那么对于这个设计和这个工艺节点而言不用Dummy GDS去抽RC做STA也是OK的。

但是保险起见还是最好加上Dummy GDS去做Timing的Signoff，这样比较安全。另外就是对于40/28nm工艺以及以下工艺节点，Dummy对于Timing的影响就比较大了，也是推荐加上Dummy GDS去做RC抽取、STA分析，然后根据STA结果做ECO。当然现在的PR工具也可以调用ICV做Timing aware的Metal Fill Insertion的，如果Flow支持的话用这种方式自然是更好的。

审核编辑：汤梓红