园芯微电子首批晶圆下线，提升苏州工业园区MEMS产业支撑能力

近日，苏州园芯微电子技术有限公司（以下简称“园芯微电子”）举行Fablite首批晶圆下线仪式暨首片晶圆揭幕活动。

2021年4月，园芯微电子落户苏州工业园区，致力于MEMS新工艺研发创新，构建MEMS传感器核心工艺制造产线，实现MEMS传感器芯片“Fablite”运营模式。该公司由敏芯股份与园丰资本、中新创投、纳米公司、苏州顺融投资管理有限公司共同投资设立。

苏州工业园区科技创新委员会指出，园芯微电子首批晶圆的成功下线，标志着其发展迈上新台阶，规模化后也将极大提升园区MEMS产业支撑能力。

据悉，苏州工业园区围绕MEMS产业，打造了纳米加工平台、MEMS中试平台、测试分析平台、微系统平台封装等产业链关键支撑平台。

审核编辑 ：李倩