Cascade，自动化DC测量，具有智能接触功能的自动DC测量

自动化DC测量概述

凭借 FormFactor 的Contact Intelligence技术，操作员可以在整个班次中（整夜甚至整个周末）开始测试并让系统保持测量状态，而无需任何用户干预。探针经过动态校正，以补偿温度变化时探针或设备的任何热膨胀，可实时准确地扎到pad上。Contact Intelligence模块通过电动针座优化在小pad上扎针，自动变温测量，和自动调整探针在Sub-Die中的位置，实现7X24小时不间断作业。Test Executive软件可以轻松调用单个DUT探针布局和多个DUT布局，以实现完全自动化。接触智能系统负责所有复杂的热过渡自主管理，以及探针到Pad对准（PTPA）的热稳定时间优化。这样就可以在更短的时间内测试更多的器件，并且在DC测量中具有更高的一致性，从而获得更准确的数据和更快的上市时间。

当与新的噪声测试设备（闪烁噪声，RTN，相位噪声）集成时CM300xi-ULN该系统为超低噪声探测提供了业界最高的测试吞吐量，并在低至30µm的小pad上具有低接触电阻。所有功能都进行了优化，以确保不降低超低噪声性能。

自动化DC的主要特征：

 

Contact Intelligence

简单易用 -不太有经验的操作人员也能通过简单地揿下一个按钮完成 DC 测量。这降低了让有经验的用户在每个系统上都花费全部时间的需要。

缩短了稳定时间–如果探针偏离了与pad对准的状态，则系统将自动把它们重新对准，这样可减少测试时间并增加吞吐量。

无人值守式的使用 -可在夜间或周末将测量作业置于运行状态，在不同的温度下测试晶圆上的所有器件，并不需要操作人员的干预。

审核编辑 黄昊宇