【应用案例】纳米位移台在白光干涉仪中的应用

纳米位移台的工作原理

纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

以纳米运动平台为代表的微操控系统日益成为诸多超精密加工/量测装备等相关高科技产业及交叉学科领域的核心技术。纳米和亚纳米尺度表征/检测和制备方法及高端科学仪器与装备的研发，得到了世界范围的高度关注，也是我国战略层面重点支持的领域之一。白光干涉测量系统以及纳米装配系统半导体、超精密加工中发挥着重要作用。

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纳米位移台在白光干涉测量系统以及纳米装配系统中的应用：

在白光干涉仪中利用纳米位移平台可实现z向高精度定位，采集不同轴向位置被测样品表面的白光干涉条纹，可重建检测面的三维表面形貌

白光干涉测量系统结构示意图

系统三维图

系统实物图

审核编辑：汤梓红