现实中微电子制造领域的静电问题

微电子制造中的静电问题都是存在于众多微小的细节之中。   微电子制造中存在大量的生产工序会产生并累积静电。   静电的直接影响之一就是通过静电感应作用将临近的微电子器件（确切而言，是其中的大量金属线路）充电至高静电位。  

  而微电子制造中涉及的许多电气测试机台（IC封测工厂就含有大量的电测工序），就是典型的CDM（Charged Device Model,器件带电放电模型） ESD关键工序（100%会发生CDM ESD），由此导致微电子器件的电性不良风险（主要是器件中的绝缘膜层漏电流过大，如gate oxide）必须得到重视并采取有效的管控措施；  

  而电气测试机台中的testing socket（测试插座）尤其是其中的器件装载导引机构大都采用绝缘塑胶或陶瓷材质，每颗器件的测试过程都会发生器件封装体与testing socket导引机构件之间的摩擦静电起电，随着测试机台测试越来越多的器件，如果testing socket上累积的静电得不到及时的有效消除，越到后面测试的器件发生CDM ESD导致的电气失效不良风险就越高。  

  当前基于28nm制程及以下的IC已经占比将近50%，其最高承受的CDM ESD电压大部分不超过100V。其中，最新的7nm、5nm制程的5G IC，CDM耐压更是降至50V以下，这种IC的设计与制程变化，给集成电路前段制造-Wafer Fab、集成电路后段制造-封装与测试、以及SMT工厂的生产工艺中的ESD防护带来了非常大的挑战。  

         审核编辑 ：李倩