高K介质（High-k Dielectric)和替代金属栅(RMG)工艺介绍

高K介质 （High-k Dielectric)和替代金属栅 (RMG)工艺

2007年，Intel 公司宣布在 45nm CMOS 工艺节点上成功地使用高k氧化铪基(Hf-oxide Based）介质和金属栅工艺，可以显著减少栅介质泄漏电流和增加栅导电能力。

但高k氧化铪基栅介质较易被源漏退火步骤的热过程引起结晶化，导致较大的泄漏电流，因此高k介质金属栅模块工艺需要在源漏之后再形成，这被称为后栅（Gate Last）工艺或替代金属栅 ( Replacement Metal Gate, RMG)工艺，如图所示。

因此，高k介质（如 HfO2、HfSiOx、HfSiON)和金属栅(如TiN、TiAl、Al 或W等）模块便成为 32nm/28nmn 和更先进节点上的标准配备；后栅工艺或替代金属栅工艺也成为产业界先进 CMOS 工艺节点（28nm 节点之后）采用的主流工艺方案。

审核编辑：刘清