芯明天新品E75系列电感测微仪，测量分辨率达0.01μm！适于微小尺寸变化的精密测量！

电感测微仪是一种能够对微小尺寸变化进行精密测量的仪器。芯明天E75系列即是一款接触式LVDT电感测微仪，通过电感测头探测外部的位移形变，测量范围为0~1mm，精度优于100nm。

特点

• 测量范围0~1mm • 触屏显示 • 分辨率0.01μm • 接触式测量 • 触屏或上位机软件

组成

芯明天E75系列电感测微仪由两部分组成，分别为测头及主体控制盒。

1）测头

E75系列电感测微仪的测头是接触式，即与待测物相接触，通过待测物移动推动测头回缩，或测头因内部弹力，随被测物移动而伸长。

测头通过测试支架进行固定，并与被测物间进行接触，其中测头具有0.15mm的预行程，适于安装中一定的预紧压缩。测头的伸缩长度变化，会改变内部线圈与衔铁间距离，引起线圈内电感量发生变化。

2）控制盒主体

该控制盒主体为测头提供激励电压信号，采集测头中线圈的电感量变化引起的直流电压信号变化，并将其放大，再经过控制盒主体的处理，进行传输、显示。

E75控制盒主体

触屏显示

E75系列电感测微仪上配有触屏显示，可通过它进行直观数据显示。

面板介绍

（1）电源开关

（2）24V DC供电

（3）RS-458通信接口

（4）LCD、RS-485切换开关

技术参数

 

 

型号	E75.LVDT-H
测量范围	0~1mm
通道数	单通道
分辨率	0.01μm
显示更新频率	10 次 /s
屏幕类型	触摸屏
测头类型	数字回弹式
传感器读数速率	200个读数/s
模拟量输出	电压或4~20mA，用户可选
操作温度	5~50℃
存储温度	-20~50℃
精度 ( 读数的百分比 )	0.05%或0.1μm，取大者
重复性 ( 最坏的情况下 )	0.15μm
重复性 ( 典型 )	0.05μm
预行程	0.15mm
后行程	0.35mm
弹簧驱动（中间位置测力）	0.70N
温飘系数	0.01%FS/ºC
探头寿命(运行次数)	1亿次
探头壳体材质	不锈钢
测头材质	碳化钨
计算机接口	RS-232、RS-485
功能	数据采集、存储，触发等
重量（g）	1285

 

 

典型应用

E75系列电感测微仪的应用非常广泛，可广泛应用于精密机械制造业、集成电路制造、科研、国防以及计量等领域。例如，长度（深度、高度、厚度、直径、锥度等）测量、振动测量、精密定位系统、微位移检测、微操作机器人位移检测、光纤对接等需要微位移检测的领域。

审核编辑 hhy