Micro LED激光巨量转移设备国产化“浪潮”

巨量转移关键设备的国产化被重新“”定义”！

高性能的Micro LED巨量转移设备，单机价格昂贵，技术含量超高，往往是Micro LED下游厂商众多设备里最为“金贵”的那一台。

作为近三年来，发展最为迅猛的显示技术之一，制约Micro LED发展最为关键的巨量转移设备一直以来普遍依赖进口。

此前，国内Micro LED应用龙头厂商利亚德就曾透露，目前公司巨转设备均采自国外。

现在，这种情况正在开始得到改变。

2022年8月以来，已经有多家国内激光设备厂商透露其Micro LED巨量转移设备顺利出货，交付客户。

“巨量转移技术是Micro LED产业化必须解决的问题，也是降低成本的关键。”有业界资深人士告诉高工LED，巨量转移设备国产化能够大大加速Micro LED应用的落地和成本的降低，为打开更多应用场景奠定了基础。

因此，任何有望实现巨量转移设备国产化的企业都会成为学术界、业界和资本方关注的焦点。

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巨量转移“拦路虎”

一直以来，巨量转移和红光效率低下是制约Micro LED发展的两大关键“拦路虎”。

其中巨量转移技术和设备难题尤为凸显。

兆驰光元显示事业部总经理刘传标就曾表示，“巨量转移及相关的芯片一致性、良率、返修......”等因素，是影响Micro LED研发和量产进程的主要原因。

巨量转移的难点在于，如何提升转移良率到99.9999%(俗称的”六个九”)，且每颗芯片的精准度必须控制在正负0.5μm以内。

此外，现在针对Micro LED生态体系的设备和关键材料少的可怜，这需要产业链厂商对现有产品做出持续优化或推陈出新，发现Micro LED生态特性，定制专属设备和材料。起码要在大规模商用之前，能够补足符合Micro LED需要的产业链配套缺失。

高工LED在近两年的巡回调研中了解到，目前产业链的包括设备等关键配套缺失已经成为厂商们发展Micro LED最为担忧的心腹大患。

“从芯片到最终的显示产品，Micro LED量产过程中面临着诸多的困难和挑战。”利亚德集团透明显示事业部总经理、利亚德智慧显示总经理汪生和此前表示，在这其中最主要的就牵扯到巨量转移技术、驱动IC技术和产品集成（即成品良率）。

因此，尽管Micro LED显示在亮度、分辨率、对比度上均显著优于 OLED 和LCD。被业界誉为“终极”显示技术。但数以百万计的Micro LED芯片尺寸小至几微米，使用传统的机械抓手和真空喷嘴的抓取和放置技术来操控微器件变得越来越困难。

目前全球各地的技术团队各显神通，提出了众多的解决方案，目前业界研发的方向主要有静电力与磁力吸附、流体装配与定位、激光转移（Laser Release）、自组装技术（Self Assembly）、转印技术（Roll Printing）等。

在静电吸附、流体自组装、弹性印模等多种巨量转移技术路线中，激光巨量转移响应快速，转移效率极高，同时具有高度可选择性。高工产研LED研究所（GGII）认为，预计未来激光巨量转移技术将成为 LED 芯片巨量转移的主流技术。

国内的多家激光设备龙头大厂近几年来也纷纷投入重金意图攻克激光巨量转移技术难题。

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国产化“曙光”初现

“从小间到微间的跃迁，是个障碍赛。Mini/Micro LED在技术、工艺、设备等方面尚不完善，也说明空间很大，在一定程度上国产和国外已经保持着同步，甚至国产应用更加超前。”高工LED董事长张小飞博士认为，Mini/Micro LED的应用大趋势已经不可阻挡。

这种热度也已经传导至整个产业链。要满足市场的高增长，Micro LED企业需要快速建立产线并实现产能爬坡，同时进一步提升产品良率并降低成本。

要实现上述目标，Micro LED设备的性能提升和供应扩张就显得尤为重要。

“Micro LED巨量转移设备系公司自主研发，现已实现销售。”大族激光此前在互动平台表示，公司各业务板块情况良好，将努力提升经营管理水平和盈利能力。

先导智能和海目星激光也都在其官微宣布自主研发的Micro LED激光巨量转移设备顺利出货。

2022年8月15日，先导智能表示，公司自主研发的Micro LED激光巨量转移设备顺利出货，进入工艺验证阶段，成为国内仅有几台实现巨量转移的先进设备之一。

据高工LED了解，先导激光巨量转移设备在转移良率、可靠性等诸多方面具有独到优势。据验证，该设备巨量转移良率可达99.99%，转移精度达到±1um以内。设备本身基于先导家族式语言设计，结构合理，操作性强，结合模块化设计，能够替换不同结构以实现各项功能升级，并且采用先进的光学技术完成晶粒的全自动化转移作业，提升转移效率。应对不同产品，先导激光巨量转移设备可同时兼容2寸、4寸、6寸晶圆及多种承接/驱动基板。

2022年9月26日，海目星激光也宣布海目星首批Micro LED巨量转移设备顺利出货，交予客户。

这意味着海目星已成功掌握Micro LED巨量转移技术，在新型显示领域取得重要突破。

据介绍，海目星自2020年起开始对激光巨量转移技术进行布局，从而探索如何逐步解决转移芯片数量巨大、转移工艺良率和精度要求严苛、容错率过低等问题。

海目星MicroLED巨量转移设备不仅能达到≤ 50μm Micro LED应用要求，同时还具备准分子光源和投影系统、高精度自动对位和全段设备兼容设计等特点。

海目星方面表示，海目星巨量转移设备已拥有在有效控制成本的前提下规模化生产的可行性，未来将逐步布局设备量产。

GGII报告显示，2022年，设备是Mini/Micro LED产业链增长最为快速的环节，封装、应用端对设备的规模化需求将得以快速释放。

审核编辑 ：李倩