芯明天闭环三维压电螺钉运动平台

此次为大家带来一款闭环式、三维运动、压电螺钉驱动的压电运动平台。使用过压电螺钉运动平台的用户都会了解，一般情况下，这种运动平台都是开环的，没有闭环伺服控制传感器。但考虑到用户在大行程运动控制下对高精度的要求，芯明天专门设计、研发了XYZ65N81E26压电螺钉运动平台，该平台配备了增量式编码器，对运动行程、精度等可进行精确控制，且精度可达1.5μm。

芯明天XYZ65N81E26压电螺钉运动平台

特点

XYZ三维运动

配有闭环增量式编码器

行程±12.5mm/轴

纳米级分辨率

精度达1.5μm

运动原理

XYZ65N81E26压电螺钉运动平台是采用压电螺钉驱动，压电螺钉的运动是通过内部压电陶瓷的微运动，驱动螺纹杆旋转，从而沿着螺纹向前运动。螺纹杆的推动，使得载物移动平台台面的直线运动。

技术参数

产品设计的参数如下表所示。

 

型号	XYZ65N81E26
运动自由度	X
集成传感器类型	增量式编码器
标称行程范围	±12.5mm
速度	50μm/s
闭/开环分辨率	80nm
线性度	1.5μm
重复度	1.5μm
承载能力	1.5kg
工作温度	0~50℃
质量（包含电缆）	2.61kg
材质	铝、钢
电缆长度	1.5m
推荐控制器	E53.D1E

 

产品实测数据

下方测试结果是在1.5kg负载、28.8℃温度、31%湿度下测得。

 

运动轴	X	Y	Z
线性度	1.253μm	1.327μm	1.157μm
重复度	1.439μm	0.275μm	1.134μm
分辨率	80nm	80nm	80nm
运行速度	55.30μm/s	64.62μm/s	54.50μm/s

 

可定制参数、可定制真空版本

芯明天可根据用户的参数要求定制压电螺钉运动平台，自由选择一至三维运动版本，自由选配增量式编码器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可达10^-6mbar以上。

应用

XYZ65N81E26压电螺钉运动平台是三维直线运动版本，因其大行程及高精度的特点，非常适用于半导体测试、晶圆检测、纳米压印、纳米计量、工业精密定位等领域。

配套控制器

XYZ65N81E26压电螺钉运动平台采用芯明天自研生产的E53.D1E压电伺服控制器，可通过串口与上位机进行连接通信，通过上位机软件，对压电螺钉运动平台进行运动的控制，可设置运动速度等参数。

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审核编辑 黄宇