氮化镓和碳化硅的对比

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氮化镓(GaN:Gallium Nitride)是氮和镓化合物,具体半导体特性,早期应用于发光二极管中,它与常用的硅属于同一元素周期族,硬度高熔点高稳定性强。氮化镓材料是研制微电子器件的重要半导体材料,具有宽带隙、高热导率等特点,应用在充电器可适配小型变压器和高功率器件,充电效率高。

氮化镓和碳化硅的对比

氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)都是宽禁带(WBG)材料,比硅(Si)有更好的物理性能。三种材料的禁带宽度分别为:Si 1.1eV;SiC 3.2eV;GaN 3.4eV,所以氮化镓和碳化硅处理更高的电压比硅好得多。氮化镓和碳化硅的击穿电压(以MV/cm计)都比硅高10倍。

主要问题

因为GaN是宽禁带半导体,极性太大,则较难以通过高掺杂来获得较好的金属-半导体的欧姆接触,这是GaN器件制造中的一个难题,故GaN器件性能的好坏往往与欧姆接触的制作结果有关。

现在比较好的一种解决办法就是采用异质结,首先让禁带宽度逐渐过渡到较小一些,然后再采用高掺杂来实现欧姆接触,但这种工艺较复杂。总之,欧姆接触是GaN器件制造中需要很好解决的一个主要问题。

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