关于光谱共焦传感器的精密测量方案

光谱共焦传感器

光谱共焦传感器可测量任何材料的物体表面，如金属、玻璃、陶瓷、塑料、织物等。不论什么颜色，物体表面是漫反射还是高光面，乃至是镜面，法国STIL光谱共焦传感器都能轻松测量。光谱共焦传感器，按类型可分为点光谱共焦、线光谱共焦、线阵视觉检测系统、多点式传感器，及3D测量系统。

↑STIL EVEREST-K1/K2 光学笔

针对触控行业3D玻璃的测量需要，STIL开发出超大测量角度的EVEREST-K1产品，在1mm的测量行程内，镜面测量角度最高达±44ﾟ，相比常规光谱共焦传感器25ﾟ的测量角度，此产品在保证产品分辨率小于50nm、测量精度100nm的情况下，最大可能地覆盖了3D玻璃测量所需的角度。2019年推出的EVEREST-K2，量程由1mm提高到2mm，满足了大量程测量的需求。

涂层测厚传感器

↑涂层测厚传感器

可在移动产线上对涂层进行非接触、实时快速、无损测量。工作距离2-50cm，可测量厚度为：10nm-1µm(亚微米涂层)，1µm–500µm(涂料/聚合物)，1µm-1mm(金属涂层)。可在高温环境、易碎或潮湿环境等各种工业环境中工作。适用于各种基材上的各种涂层，如粉末和干湿油漆、汽车涂层、金属防腐合金涂层、等离子喷涂减摩涂层、金属盘的PTFE涂层、玻璃油墨检测、阳极氧化铝、金属表面的橡胶涂层、铝部件上的热喷涂等。

优势特点：

【非接触】测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量工件，即使它们位于移动产线上、在高温环境中，甚至易碎或潮湿环境中。

【无损测量】由于激光束产生的热量极少，因此测量过程中涂层和工件都不会被损坏或改变。对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用，它可以系统地测量每个工件。

【实时快速】测量通常不到一秒钟，具有高度重复性。这样可以控制高达100％的涂层部件，严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持最佳状态。

白光干涉位移传感器

白光干涉测量专用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级。目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一，具有以下优点：

非接触三维表面轮廓测量。

噪音小，测量重复性好。

纳米级分辨率：Z轴分辨率最高可达0.1nm

测量的点云数多：一个面最多可以达到500万个点，点间距小，XY分辨率高。

多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野。

测量速度快，可实现在线测量。

可以测量更大倾斜角的产品，漫反射面可测接近90度的斜面。

软件包MountainsMap可用于复杂的测量任务，如粗糙度，表面结构，微观几何形状和轮廓。自动化有多种选择：可使用SDK，I/O模块和几条工业产线解决方案。

attocube激光干涉位移传感器

Attocube systems AG，因其在工业研究领域的纳米技术尖端解决方案的开发、生产和分销的卓越创新而享誉国际。其产品组合包括，超精密驱动单元，干涉位移传感器和低温显微镜系统及低温恒温器，其工作接近技术和物理的极限。其新建的纳米工厂，具有现代化工作设备和生产设施；认证和合规，致力于引领行业标准。

IDS3010是超紧凑型干涉式位移测量传感器，配备了三个基于光纤的传感器头。非常适合机器集成，并兼容各种工业网络。由于集成了网络服务器，因此可以随时对传感器进行远程校准，初始化和（重新）配置。

无与伦比的技术规格使系统性能倍增：IDS3010以10-12m的亚原子分辨率提供10MHz的数据采集带宽。灵敏度非常出色的前提下，仍可达到5米的工作距离，并能够跟踪高达2m/s的目标速度。

IDS3010干涉式位移传感器，是attocube激光干涉仪的最新和小型化版本，用于测量纳米范围内的位移（增量距离）。IDS3010的模块化和小型化设计，使三个测量轴都能轻松适应各种应用。IDS3010非常紧凑便携，可直接集成到机器中，是具有挑战性的OEM和同步加速器应用的首选产品。被动冷却的外壳可最大程度地减少噪声和振动，避免干扰其他光学和电气组件。

传感器可直接集成到机床、半导体设备、三坐标测量系统等设备上。能够在三个轴上测量，可实现从几毫米到几米的大工作距离测量，可对不同材料进行最精确的测量。提供模块化测量设置和极其紧凑的激光传感器头已获得专利，该技术还可以进行振动测量，旋转跳动测量或机床校准。

attocube压电纳米精密定位台

Attocube的室温和低温纳米精度移动平台, 专为纳米定位而设计，在极端环境条件下（如低温，高磁场和超高真空）具有最高精度。适用于大气和真空条件，并且可根据客户的应用提供各种不同的选择，如使用重量轻的强铝用于大气层，而不锈钢外壳兼容高达真空条件。压电纳米精密定位台具有如下特点：

【高负荷】借助独特的压电驱动技术，刚性机械设计及交叉滚子轴承的应用，ECS定位器能够在纳米级上移动，可承受高达几千克的负载。

【材料＆预期寿命】室温优化的驱动机制，再加上不锈钢铝作为主体材料，与高端系列阀门定位器相比，可显着降低成本，同时可实现约500000次循环寿命。

【多轴操作】attocube的ECS定位器具有多种设计，尺寸和行程范围。它们可以直接堆叠在一起进行多轴操作。

【闭环控制】结合三轴驱动电子设备ECS100，ECS定位器能够实现1nm（1μ°)的闭环定位分辨率，同时提供最高可达4.5 mm/s (10°/s)的速度。50nm（50μ°)的位置可重复性是工业生产线的最高标准。

【大行程范围】ECS系列定位器，采用了基于attocube惯性驱动技术的驱动机构，该驱动机构专门对大行程范围为厘米的、环境温度下的应用进行了修改。

【真空兼容】工业产线的定位器，用于室温和超高真空到环境的压力范围。所有平台均可采用阳极氧化铝或不锈钢制成，满足光学和特高压应用。

编辑：黄飞