Agilent BA1500半导体参数测试仪

Agilent BA1500半导体参数测试仪

直流I-V测试：
具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同时测量最小电压分辨率0.5μV、最小电流分辨率0.1fA
DC I-V test:
Four SMUs （2 medium power SMUs, 2 high resolution SMUs）, all SMUs can do test simultaneously
C-V测试：频率1KHz-5MHz；偏置电压：±25V；测量精度±0.2 %(@1pF, 1MHz
C-V test: frequency 1KHZ~5MHz; bias voltage: ±25V; meas. accuracy:±0.2 %(@1pF, 1MHz
可实现C-V和I-V测量间自动切换，不会影响测量精度
Easy to automatically switch between C-V test and I-V test without affecting measuring accuracy。
脉冲IV：
提供两路快速IV/脉冲输出，具有任意波形产生功能
最小脉冲宽度：50ns；脉冲电平范围：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω负载)；电压测量精度：±0.1%读值, ±0.1% 量程；电流测量精度：±0.1% 读值, ± 0.2% 量程
主要用途/Applications:
支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。

审核编辑 黄宇