MEMS技术亮点 上海交大国家重点实验室详解MEMS中的动力学问题研究

这个一份来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室，是一份硬核技术资料。

主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题，包括了MEMS基本概念、模型、历史回顾、加工技术、研究成果、应用现状等内容，推荐需要深入了解MEMS技术的童鞋分享、收藏。