H81A.XYZ20S/K三维压电宏微复合平台

宏微复合跨尺度两级驱动精密定位技术是国防军工、航空航天、精密加工、生物科学和精密光学等领域的关键支撑技术之一。随着科学技术的发展，精密定位技术对定位系统行程和精度的需求越来越大，宏微复合两级驱动精密定位技术克服了传统的单一驱动定位技术难于实现大行程、高精度的技术难题，在体积、行程、响应速度、定位精度等方面均具有较大的优势。

哈尔滨芯明天科技有限公司以实际应用为主进行研发，克服各项技术难题，完美的将手动调节微动台与压电纳米定位台相结合，将定位台的行程扩展到几十毫米，同时可达到纳米级的分辨率，以满足不同大行程、高精度要求的应用。

本次介绍的就是一款宏微复合跨尺度两级驱动的压电精密定位台，它的型号为H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三个方向产生运动，每轴千分尺行程为4mm，压电行程为18μm。实物外观如下图所示。

H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台的一端具有移动台面，台面尺寸为60mm×60mm，在移动台面上配有16个M3的负载安装孔。该平台固定于一个112mm×112mm的底座，在底座上具有8个φ8mm及3个φ6.4mm的通孔，以便于该压电宏微复合平台的固定安装。

手动千分尺调节结合压电纳米调节

H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台采用了手动千分尺调节，该千分尺的行程为4mm，单圈调节为500μm。

该宏微复合平台的压电驱动部分是由压电陶瓷来驱动，施加电压信号来控制。通过芯明天压电控制器对压电平台内部压电陶瓷施加电压信号，压电陶瓷产生相应的位移，再由柔性结构传递到移动台面，从而使得移动台面产生微纳米级的微位移运动。

该部分压电驱动的连接是通过引线及连接器将压电控制器与压电宏微复合平台相连的。该套压电系统的引线两端都采用连接器连接。

配套控制器

E01.D3系列压电控制器非常适于驱动H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台，它具有闭环伺服模块，可进行伺服控制；此外，可通过上位机软件进行控制。

E70系列三通道压电控制器是一款小体积压电控制器，同样适于驱动H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台，它也具有闭环伺服功能及上位机通信功能，可进行伺服控制及上位机软件控制。

技术参数

E01.D3系列压电控制器驱动H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台的基本参数如下。

 

型号	H81.XYZ20S/K
运动自由度	X Y Z
宏动部分 - 千分尺
粗调行程范围	4mm
精调精度	500μm/turn
微动部分 - 压电
标称行程范围（0~150V）	18μm
传感器类型	SGS
闭/开环分辨率	1/0.2nm
闭环线性度	0.3%F.S.
闭环重复定位精度	0.2%F.S.
承载能力	1kg
静电容量	1.8μF/轴
材质	钢、铝
重量	1kg
驱动控制	3路驱动，3路传感

 

审核编辑 黄宇