在半导体行业中工业静电有哪些危害？

众所周知，静电是无处不在，无时不刻都在发生的，上一秒消除下一秒它又产生，从生活中的静电到工业静电，皆是如此。而在众多工业领域中，静电对半导体生产制造过程产生的影响额外明显，所以半导体行业对静电的防护要求也比其他行业要高，那么静电对其的危害具体体现在哪些方面呢？

一、MOS结构元器件，由静电过高引起的介质击穿，造成短路

二、半导体结构元器件，由过热引起的微等离子区二次击穿

三、膜电阻器结构元器件，由介质击穿形成新的电流通路

四、金属化条结构（IC），静电造成与焦耳热有关的开路

五、压电晶体结构元器件，由静电干扰引起机械压力震荡过大，造成晶体断裂

ESD智能实时监控系统，其中的静电压传感器正是发现静电的利器，多种sensor可选。

审核编辑 黄宇