来认识一下激光驱动白光光源（LDLS）吧！

在半导体检测等诸多应用中，宽光谱光源是必备物件。比较常见的有氘灯、钨灯、氙灯等，但这些传统光源却存在一些固有的问题。

光谱测量范围上，它们都无法在200 nm-800 nm范围内保持较高的输出；寿命、亮度和稳定性上，传统光源需要在使用几百小时或更短时间就进行重新校准，使用1000-2000小时后还需更换灯泡。

而归根结底，这些都是其发光原理而带来的“先天性”缺陷。传统光源为电致发光，即通过光源灯室电极加高压激发灯室中气体放电，从而发光。这种使用电极耦合产生等离子体的方式，在亮度、稳定性、UV波长覆盖、寿命上都有很大的限制。

因此，从发光原理上进行变化，光源才有可能得到真正意义上的改善。今天我们将要聊到的“激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）”正是完成了这一华丽转变。

LDLS光源

什么是激光驱动白光光源（LDLS）？

激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）是由美国著名EUV光源公司Energetiq（现已被滨松集团收购）开发并拥有专利技术的产品，也曾获得被誉为光学界“奥斯卡”的“Prism Award”（棱镜奖）。

其整体由一个特殊设计的灯室，驱动激光光源，激光聚焦光路，光源输出光路，光源控制器等主要部分组成。和传统电致发光光源原理不同，其采用无电极结构，将外置1000 nm左右波长的激光汇聚到光源灯室中，加热氙等离子体至足够高温时便会发光。

LDLS有高效的光收集能力，亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围（170 nm ~ 2100 nm）内提供超高发光亮度，其在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。另外，整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出近一个数量级（>9000 h），且稳定性得到了极大的提高。

非常适合应用于宽光谱检测、OCD量测、薄膜测厚、overlay量测、in situ量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域，以及光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。为目前在使用传统弧光灯，但是苦于频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户，提供了一个新的选择。

LDLS的优势点

170 nm-2100 nm波长范围内具有超高亮度

100μm量级发光等离子体即可实现

辐照度＞10-100 mW/mm.sr.nm（波长相关）

超快速测量

光纤耦合或自由空间光束输出

光学灵活性高

无电极结构

超长寿命、超高稳定性、超低成本

审核编辑 黄宇