新品推荐|XD770.300S大负载压电纳米定位台

压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制，且应用非常广泛，例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。随着科技不断进步，精密定位技术对于定位系统的行程、负载、精度要求也不断攀升，哈尔滨芯明天科技有限公司持续加强技术实力和研发能力，不断攻克技术壁垒，提升产品性能，以满足对大行程、大负载、高精度的应用要求。

此次为大家介绍的是一款具有大行程、大负载特点的一维压电纳米定位台，型号为XD770.300S，尺寸为130mm×100mm×33mm，实物外观如下图所示。

Z向运动，大负载、大行程

XD770.300S压电纳米定位台为Z轴方向的运动平台，行程可达300μm，负载可达5kg，实现行程范围和负载能力的双提升，为同时有大行程、大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器，分辨率高、响应速度快。

配置闭环传感，更高精度

XD770.300S压电纳米定位台内部配置有闭环传感器，反馈可体现精确位置的电信号，可对压电纳米定位台的运动位置进行实时调整，提供更高的精度。经过实测，它的线性度可达0.08%F.S.,重复定位精度可达0.02%F.S.。

 

线性度
正向线性度(%F.S.)	0.056%
反向线性度(%F.S.)	0.073%
双向线性度(%F.S.)	0.073%
重复度
正向重复度(%F.S.)	0.011%
反向重复度(%F.S.)	0.009%
双向重复度(%F.S.)	0.017%

 

紧凑尺寸，多孔安装

XD770.300S压电纳米定位台在具有大承载的情况下，体积并未有过大的增加，反而很紧凑。在它的移动上表面，具有16个负载安装孔，非常便于负载的安装。

技术参数

 

型号	XD770.300S
运动自由度	Z
驱动控制	1路驱动、1路传感
标称行程范围（0~120V）	240μm
行程范围（0~150V）	300μm
传感器	SGS
闭环分辨率	10nm
线性度	0.08%F.S.
重复定位精度	0.02%F.S.
俯仰/偏航/滚动	＜15μrad
空载谐振频率	380Hz
带载5kg谐振频率	110Hz
闭/开环空载阶跃时间	300/10ms
承载能力	5kg
静电容量	43.2μF
工作温度	-20~80℃
材质	钢、铝
重量	2kg

 

推荐控制器

XD770.300S压电纳米定位台可使用芯明天E53.D系列压电控制器驱动，它是单通道压电控制器，可通过模拟输入控制或上位机软件控制。具有体积小、易集成等特点。

审核编辑 黄宇