白光干涉仪测量台阶高度有哪些优势

上两期介绍了粗糙度的概念、设备，也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势，

而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域，

除了粗糙度，还会涉及到台阶高度测量，微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等。

本期，小优博士带大家一起了解白光干涉在测量台阶高度的优势。

精度高

白光干涉仪精度可达亚纳米级别

多线测量 工具丰富

快速选取比探针式更多的截面，保证测量稳定性；

功能丰富，自动测量最高最低点、平均值，统计分析。

图2 ， “晶圆切割台阶深度”(由 优可测EX-230，20X 拍摄）

低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像。

图3，“超光滑玻璃镜面”（由 优可测EX-230 ，20X 拍摄）

非接触式测量

非接触式不会刮伤表面，

软质、尖锐产品可测。

图4，“软质材料凝固实验”（由 优可测ER-230 ，20X 拍摄）

广视野 速度快

倍率精度相同，可获得大视野。

以面的形式扫描，

一般在数秒钟内即可完成测量。

优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度。

审核编辑 黄宇