中微公司推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW

 

近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积（LPCVD）设备Preforma Uniflex CW。这是中微公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破，也是实现公司业务多元化增长的新动能。

中微公司12英寸低压化学气相沉积产品

Preforma Uniflex CW

作为中微公司自主研发的产出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD设备，Preforma Uniflex CW可灵活配置多达五个双反应台反应腔（十个反应台），每个反应腔可以同时加工两片晶圆，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现更高的生产效率。

Preforma Uniflex CW， 作为中微公司自主研发的LPCVD设备，配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台， 具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备良好的工艺处理能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力，可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。

探索不息，创新不止。中微公司推出的Preforma Uniflex CW是公司创新之路的又一里程碑。一直以来，中微公司践行“四个十大”的企业文化，将产品开发的十大原则始终贯穿于产品开发、设计和制造的全过程，研发团队秉持为达到设备高性能和客户严格要求而开发的理念，坚持技术创新、设备差异化和知识产权保护。“这款LPCVD设备不仅拥有完整、自主的知识产权，还创造了中微公司新设备研发速度的新纪录。”中微公司集团副总裁、LPCVD 产品部和公共平台工程部总经理陶珩说：”自该款LPCVD设备研发立项以来，仅用不到半年时间，我们就完成了产品设计、生产样机开发和实验室评价，目前已顺利导入客户端进行生产线核准。”

如今，数码产业已成为国民经济的两大支柱之一，正在彻底改变人类的生产和生活方式。中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示，“数码强，则国强；数码弱，则国弱。半导体微观加工设备正是数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关键。工欲善其事，必先利其器，加工微米及纳米级微观器件的设备对发展集成电路与微器件工业、促进数码产业发展至关重要。此次我们推出LPCVD新产品，在等离子体刻蚀设备和MOCVD设备的基础上，进一步拓展了公司的产品线布局，也增强了半导体设备的自主可控性。未来公司也将继续瞄准世界科技前沿，坚持三维发展战略，推出更多自主设计的半导体设备，为促进数码产业发展贡献力量。”

自2004年成立以来，中微公司致力于开发和提供具有国际竞争力的微观加工的高端设备，现已发展成为国内高端微观加工设备的领军企业之一。未来，公司将继续打造更多具有国际竞争力的技术创新与差异化产品，为客户和市场提供性能优越、生产效率高和性价比高的设备解决方案。　　

      审核编辑：彭静