滨松红外相机及应用实例展示

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滨松的红外相机是使用InGaAs材料,在900 nm-1700 nm波段有很高的灵敏度的科研级红外相机,目前主要有三个型号的相机可供选择:超高灵敏度深度制冷的C12741-11, 高灵敏度低噪声的C12741-03,灵活小巧、可制冷有全局快门的C14041-10U。

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900 nm-1700 nm的红外波段在光通信、半导体检测等诸多领域都有着广泛的应用,下面就介绍几个红外相机的典型应用。

该应用通常来说光强较强,选用C14041-10U即可,如果是较弱的光纤出光,也可选用C12741-03.

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用于光波导的相机需要观测相对来说较弱的光纤发光等,所以建议选用灵敏度较高的C12741-03。

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电致发光:在暗室环境下,通过增加曝光率获取样品缺陷发光现象。

硅片键合:对硅片、锗片及其掺杂片键合过程中产生的缺陷进行检测(气泡、缝隙等),掺杂的材料根据情况不同,穿透波长也不一样。

红外穿透:硅片本身不透明,使用反射光仅能看清表面结构。使用红外光源配合红外相机拍摄,利用红外光对"不透明"的硅片所具有的穿透性,就可以看清楚芯片内部各层的结构。

相机型号建议选用灵敏度较高的C12741-03。

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辉锑矿,红外可穿透,可见光不可穿透;石英,可见光和红外均可穿透;黄铁矿,红外可穿透。通常使用红外相机配合显微镜观察。建议选用灵敏度较高的C12741-03。

针对极微弱的红外光,例如材料发出的弱荧光,可以使用深度制冷到零下70 ℃的C12741-11。

审核编辑 黄宇

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