900g大负载型压电物镜定位器！

什么是压电物镜定位器？

压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置，可带动物镜聚焦进行Z向运动，精度可达纳米级别，能与多种高分辨率的显微镜配合使用。

大负载压电物镜定位器的应用
大负载型压电物镜定位器是具有较大的承载能力，可达900g，甚至更高，可用于带载较重型压电物镜定位器。

1、激光晶圆隐形切割

激光晶圆隐形切割是激光经过透镜聚焦，再通过压电物镜定位器精确调整焦点的位置，使焦点准确的定位在晶圆待切割部位，使被切割部位温度急速升高，然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动，在切割材料上形成切缝从而达到切割的目的。

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2、用于大幅提高普通显微镜的聚焦精度

可通过压电控制器对压电物镜定位器微调的距离进行控制，压电控制器的可变输出电压对应压电物镜定位器的零至满行程位移，两者成线性关系，通过改变压电控制器的可变输出电压的大小，即可控制压电物镜定位器的微调距离。相比普通的显微镜的手轮调节，聚焦精度更高可达纳米级别。

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3、超分辨率显微成像

显微光学成像，是指透过样品或从样品反射回来的可见光，通过一个或多个透镜后得到微小样品的放大图像的技术。超分辨率（SR）显微镜是一个描述新兴光学显微镜的广泛概念，尽管常规的光学显微镜最高可实现百纳米的分辨能力，但这种超分辨率技术可实现数十纳米的更高分辨率。SR显微镜利用特定荧光探针特性分离两个紧密间隔的荧光源发出的光子，从而使它们可以分别成像，避免了衍射极限，从而可以观察细胞在纳米世界中的动态效果。

新的超分辨率技术，例如受激发射损耗显微镜，光激活定位显微镜和随机光学重建显微镜，已将分辨率从100～200nm降至更低。纳米级分辨率的压电物镜定位器非常适合这些应用。显微镜和样品架的对准要求精确、快速的移动。基于高分辨率压电陶瓷驱动的压电物镜定位器可以提供独特的超精密技术支持。

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4、激光光刻、光盘数据存储

光刻过程是指放置在电动平台上的光刻胶基片随着电动平台的转动和平移，由声光调制器控制光束的强弱对光刻胶进行变剂量曝光，通常电动平台的定位精度达到微米或亚微米量级。然而由于惯性、静摩擦、松动等所造成的电动平台螺距误差与偏移，将直接影响着系统的性能和光刻元件的质量。芯明天压电物镜定位器以其纳米级的精度、稳定的性能、便捷的操控成为***设备中扫描运动平台的理想选择。

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5、白光干涉、3D端面检测

白光干涉技术以可见光为光源，光源发出的白光通过干涉物镜后在半透射光学平面反射一半光强，另一半光强透射后照射在量测物表面并反射再次进入干涉物镜，与原光学平面的反射光产生干涉。搭配芯明天压电物镜定位器，准确性高可达纳米解析度。

目前光纤端面检测，常用的方式是光学干涉来进行测量。光学干涉就是根据相干光在空间相遇时，在某些区域始终增强，在某些区域始终减弱，形成稳定的强弱分布。3D干涉仪系统就是根据这个原理设计的。CCD摄像头上可以观察到干涉条纹，芯明天压电物镜定位器可用于移动干涉物镜以产生位相移动，CCD摄像头测得的图像经图像卡传送到计算机进行解析处理，就可以得到需要的测量结果。每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹，根据干涉条纹的分布计算出端面形状。

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芯明天大负载压电物镜定位器

审核编辑 黄宇