基于空间光调制器LCOS-SLM的激光加工应用

滨松LCOS特有的介质镜Dielectric Mirror专利，大大提高了以下三点性能：

1. 对强激光的功率阈值。同时提高了平均功率和脉冲激光的峰值功率。

2. 光利用率。即LCOS的反射率，介质镜可以使光强的损失降到最低。

3. 调制精度。主要影响LCOS的表面平整度，见下图：

50×50点阵图：

审核编辑 黄宇