晶圆划片机主轴转速对刀片寿命及切割品质的影响

在晶圆划切过程中，不仅需要选择适合的划片刀，而且要关注加工条件的优化。合适的划片刀和良好的加工条件，对于获得满足工艺要求的切割效果都起着至关重要的作用。

 

 加工条件主要涉及以下两个方面：

 

 

 

什么是主轴转速？

刀片固定在精密切割设备主轴上，并以非常高的速度旋转。主轴转速通常在每分钟10,000至60,000转之间。刀片旋转速度是影响切割效果的关键因素之一。

 

需要注意的是，在相同转速下，刀片外径不同，外圆线速度也是不同的。刀片外径越大，外圆线速度越大，如下图所示：

 

 

不同的刀片外径为了获得相同的外圆线速度，必须调整转速，以保证切割质量及稳定性。

 

主轴转速对刀片寿命的影响

当主轴转速增加时，刀片的切割能力提高，金刚石的加工负荷减少，从而提高了刀片寿命，同时降低了被切产品正面崩边产生的风险。另一方面，金刚石加工负荷减少会阻碍刀片自锐，这往往导致被切产品背面崩边发生率的增加，此时降低主轴转速，加速刀片自锐，就是减少被切产品背面崩边发生率的有效措施之一。

 

 

 

 

 

主轴转速对切割品质的影响

 

不同主轴转速下的正面和背面崩边尺寸的变化

 

不同主轴转速下的正面崩边尺寸的变化

 

不同主轴转速下的背面崩边尺寸的变化

 

 

相同切割条件下，主轴转速越高被切产品正面崩边尺寸越小，背面崩边尺寸越大。

 

 

不同主轴转速下的正面切割刀痕变化 

主轴转速：44500

 

主轴转速：56000

 

 

相同切割条件下，主轴转速越高，刀片蛇形切割的发生概率越高。

 

为了使被切产品保持良好的正面和背面切割质量表现，并达到预期的使用寿命，需要选择一个主轴转速平衡点。

 

主轴转速与加工质量的平衡点

由于主轴转速对正面、背面崩边尺寸和刀片寿命均有影响，因此有必要根据被切产品、刀片规格和加工质量标准对主轴转速进行平衡选择。

 

主轴转速与加工质量的平衡点

 

 

以上是主轴转速对切割品质及切割寿命的影响，下期我们将讲述进给速度的影响。

 

 

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