3D光学表面轮廓仪工作原理

非接触3d光学轮廓仪主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓，主要用于超精密加工行业。

 

工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

 

 

中图仪器SuperViewW1系列白光干涉仪可测量程范围内的三维尺寸，不过白光干涉仪的主要用途还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数。其采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质。提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合客户需求，贴心省力。

 

软件功能
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；
提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作**检测区域。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量；
提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；
提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；
提供图形分析、岛屿分析、分形分析、孔的体积等多种有针对性的分析功能；
提供频谱分析功能，相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；
提供线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；
提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数

 

 

(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。
(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。
(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。
(6) 便捷的分析功能，可实时提取表面二维剖面，实现对样品的操作所见即所得。
(7) 拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。

 

现代化工业数字化测量要求高精度化、低成本和小型化等，都是时代对制造业提出的紧迫要求。中图仪器研发生产的非接触3d光学轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，数秒内，可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。典型结果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、台阶高度、锥角等等）
2、几何特征（关键孔径尺寸、曲率半径、特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）