白光干涉仪测三维形貌

作为三维形貌测量领域的高精度检测仪器之一，在微电子、微机械、微光学等领域，白光干涉仪可以提供更高精度的检测需求。测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅干涉条纹图像，找到该过程中每一个像素点处于光强最大时的位置，完成3D重建。

 

SuperViewW1白光干涉仪由光学照明系统、光学成像系统、垂直扫描控制系统、信号处理系统、应用软件构成。其中信号处理系统作为仪器核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据，然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。重建算法能自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。

 

性能特点

1、轮廓/粗糙度测量功能：
高到亚纳米级的高度分辨率，在宽度、高度、角度、直径等各类轮廓尺寸测量功能以及表征表面整体加工质量的粗糙度等指标；

 

2、自动化测量功能：
自动单区域测量/自动多区域测量/自动拼接测量；

 

3、复合型扫描算法：
集合了PSI高精度&VSI大范围双重优点的EPSI扫描算法，有效覆盖从超光滑到粗糙等所有类型样品，无须切换，操作便捷；

 

4、双重防撞保护功能：
Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护，多一重安心；

 

5、环境噪声检测功能：
环境噪声评价功能能够定量检测仪器当前所处环境的综合噪声数值，对仪器的调试、测试可靠性提供指导；

 

6、完善的售后服务体系：
设备故障远程&现场解决，软件免费升级。

 

应用场景

半导体—轮廓尺寸测量

 

光伏栅线—厚度和宽度测量

 

微流控器件—槽道测量

 

光学衍射片

 

超精密加工