激光干涉仪与光刻机的缘分

光刻机是集成电路生产的关键设备之一，在整个生产过程中占据重要的地位。高精度的工作台作为光刻机核心部件之一，其运动性能和定位精度决定了光刻工艺所能实现的线宽和产率。

 

光刻机的工作台是一个六自由度的运动台，其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch，直线度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是获得XY线性（重复）精度（Linear Positioning）的关键，是后续实现六自由度的控制的基石，是多层曝光对准精度的源头。

 

本次利用SJ6000激光干涉仪检测一台光刻机XY轴的角摆和直线度，部分结果如下：

 

Y轴Vertical Straightness测量

 

X轴Pitch测量

 

X轴测量轴长225mm，其中垂直直线度测得结果0.58μm。

 

Y轴测量轴长600mm，测得角度Yaw结果0.86″。