陆芯精密切割——精密划片机优势及工艺介绍

陆芯精密晶圆切割机优势

1.设备精准度高（0.0001mm）

2.切割精度1.5um

3.效率高

4.加工品种多样化（晶圆、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等）

5.成本低（设备、加工耗材、设备保养维护）

6.环境要求低（普通千级无尘车间）

7.操作简单易懂易上手（对标DISCO）

8.售后服务好

9.机器交付周期短

 

常见切割品种及简单工艺介绍

 

  一、BGA/WAFER类晶圆 
 

 

切割刀片	SD1000N25MR0207   52D*0.048T*40H
膜型号	LINTEC
主轴转速	28000-30000rpm
切割水流量	Blade 1.0-1.2L/min
	Shower 0.8-1.2L/min
校准方式	手动校准、自动校准
切割效率	8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片

 

 

二、二极管、三极管、MOS管类硅片
 

 

切割刀片	ZH05-SD4000-N1-70BA
膜型号	SPV224
主轴转速	38000-50000rpm
切割水流量	Blade 1.2-1.5L/min
	Shower 1.0-1.2L/min
校准方式	手动校准、自动校准
切割效率	4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片

 

 

三、氧化铝、碳化硅类陶瓷

 

切割刀片	SDC500-R75TNF 56D×0.15T×40H
膜型号	LINTEC
主轴转速	25000-35000rpm
切割水流量	Blade 1.2-1.5L/min
	Shower 1.0-1.2L/min
校准方式	手动校准、自动校准
切割效率	平均30min/片

 

 

四、光学玻璃、浮法玻璃类

切割刀片	SD1000N25MR0207    56D*0.1T*40H
膜型号	LINTEC
主轴转速	28000-35000rpm
切割水流量	Blade 0.8-1.0L/min
	Shower 1.0-1.2L/min
校准方式	手动校准、自动校准
切割效率	平均20min/片

 

 

五、QFN/DFN类

 

切割刀片	SDC320R01Q    58D-0.3T-40H
膜型号	6360-15
主轴转速	21000rpm
切割水流量	Blade 1.2-1.5L/min
	Shower 1.2-1.5L/min
校准方式	自动校准
切割效率	5-8min/条

 

 

 

六、PCB/MEMS基板类

 

 

切割刀片	D8/20-MDS   56D-0.1T-40H2d/1W/16N
膜型号	6360-15
主轴转速	25000rpm
切割水流量	Blade 1.2-1.5L/min
	Shower 1.2-1.5L/min
校准方式	自动校准
切割效率	5min/条

 

 

七、碳纤维板、玻璃纤维板类

 

切割刀片	D8/20-MDS   56D-0.1T-40H2d/1W/16N
膜型号	6360-15
主轴转速	35000rpm
切割水流量	Blade 1.2-1.5L/min
	Shower 1.2-1.5L/min
校准方式	手动校准、自动校准
切割效率	20min/片