10.6.1 半导体技术计算机辅助设计（TCAD）∈《集成电路产业全书》
描述
Technology Computer Aided Design
审稿人：格芯公司 王一娇
https://gf.com/zh
审稿人：北京大学 刘晓彦 杜刚
https://www.pku.edu.cn
10.6 纳米级器件模型与模拟
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册
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