6.4.2.2 n型SiC的欧姆接触∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
描述
6.4.2.2 n型SiC的欧姆接触
6.4.2 n型和p型SiC的欧姆接触
6.4 金属化
第６章 碳化硅器件工艺
《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
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