白光干涉仪是什么？

白光干涉仪SuperView W1系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。

 

中图仪器SuperView W1白光干涉仪

产品特点
 1、非接触式测量：避免物件受损。

 2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。

 3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

 4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。

 5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。

 6、扫描仪：采用闭环控制系统。

 7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

 8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

 

应用领域
 1、TFT产业

 2、半导体

 3、MEMS

 4、高校科研

 5、精密加工