5.2.3 扩展缺陷对SiC器件性能的影响∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
描述
5.2.3 扩展缺陷对SiC器件性能的影响
5.2 SiC的扩展缺陷
第５章 碳化硅的缺陷及表征技术
《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
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