白光干涉仪能测哪些三维形貌?

描述

 

中图仪器SuperView W1白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
 

白光干涉仪

 

SuperView W1白光干涉仪能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

 

白光干涉仪三维形貌测量

白光干涉仪半导体-轮廓尺寸测量白光干涉仪超光滑透镜测量白光干涉仪超精密模具白光干涉仪超精密加工

 

 

 

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