SJ6000激光干涉仪采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高,抗干扰能力强,空气湍流、热波动等影响甚微,因此降低了对环境条件的要求,使它不仅能用于实验室,还可在车间条件下测量大距离用。测量分辨率0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。
激光干涉仪可以检测数控车床定位精度和重复定位精度,但是激光干涉仪的常规光路搭建都是水平或垂直方向,如何检查斜导轨机床?
SJ6000激光干涉仪的线性附件——可调转向镜,能把水平射出的激光俯仰偏转25°以上,结合线性镜组可用于倾斜机床、三坐标对角线的测量。
可调转向镜
斜床身车床定位精度测量配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组(可调转向镜镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。
可调转向镜应用实例斜床的倾斜轴测量
中图仪器以实现高精密仪器自主化为己任,SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
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