按照工作原理的不同,轮廓测量仪可以分为非接触式光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)和接触式轮廓仪(触针式)。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳米级别的。主要在半导体晶圆加工、3C行业的盖板、光学元器件、超精密加工以及各高等院校实验室。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤:
1、将样品放置在夹具上,确保样品状态稳定;
2、将夹具放置在载物台上;
3、检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;
4、使用操纵杆调节三轴位置,将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹;
5、完成扫描设置和命名等操作;
6、点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);
7、进入数据处理界面,点击“去除外形”,采用默认参数,点击应用获取样品表面粗糙度轮廓;
8、进入分析工具模块,点击参数分析,直接获取面粗糙度数据,点击右侧参数标准可更换参数标准,增删参数类型;
9、如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;
10、进入数据处理界面,点击“提取剖面”图标,选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取;
11、进入分析工具界面,点击“参数分析”图标,点击右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。
SJ5700触针式轮廓仪主要用于零件轮廓尺寸测量,比如汽配行业、轴承行业、五金工具、机械加工、紧固件行业、轴承行业、模具行业等等。在进行测量的过程中,检定软件会实时将测针获取的参数,在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线,是一款全自动测量的仪器设备。扫描完成以后,操作人员可以通过轮廓分析工具直接对生成的轮廓曲线进行评定,得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。操作便捷,功能广泛。
可对轮廓进行直线度、圆度分析,可评定的表面轮廓参数包括:角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面,确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面等,并可同时实现:
1.建立回归直线和圆形;
2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点;
3.建立坐标系统;
4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差;
5.实际值与标称值比较;
6.测量程序自动运行。
SJ5700触针式轮廓仪粗糙度测量步骤只需一次按键,测针自动接触工件,自动调整测量力,根据工件表面自动调整移动速度,开始全自动轮廓扫描,整个过程无需任何人工操作。一次测量后可同时完成粗糙度和轮廓评定,无需更换传感器。
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