激光干涉仪可以完成哪些测量?

描述

SJ6000激光干涉仪环境适应能力好,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。除了可完成线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量外,在动态测量软件配合下,还可完成线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

 

激光干涉仪

 

测量功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
3.可实现龙门机床双轴同步测量;
4.可实现对机床回转轴的测量与校准;
5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
6.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
7.支持手动或自动进行环境补偿。

 

测量应用

激光干涉仪线性测量激光干涉仪斜床的倾斜轴测量激光干涉仪测量机床直线度激光干涉仪测量机床偏摆角度激光干涉仪垂直度测量激光干涉仪直线度测量

 

 

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