设备方案 | 应用于半导体刻蚀设备上的热门传感器（二）

 

 

如果把芯片比作一幅平面雕刻作品，那么光刻机是打草稿的画笔；刻蚀机则是雕刻刀；沉积的薄膜则是用来雕刻的材料。光刻的精度直接决定了元器件刻画的尺寸，而刻蚀和薄膜沉积的精度则决定了光刻的尺寸能否实际加工，因此光刻、刻蚀和薄膜沉积设备是芯片加工过程中最重要的三类主设备，占前道设备的近 70%。

 

 

近些年来我国已经开始在各类设备中开展追赶式研发，在技术难度最高的这些主设备中，刻蚀机走在国产替代的最前列。今天，小明就来分享一下，半导体刻蚀设备上的传感器应用方案。

载体ID管理

智能读码器  RCD-AI100-S

通过将 FOUP 料盒上粘贴的通用条码标签在加载端上自动读取，可以简单地实现点对点精确管理，并且可以降低成本，算法强大，可同时读取多个条码。
 

 

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检测上端晶片有无

光纤传感器   PG1+PT-32-DQ

检测最上方晶片是否存在，以判断是否满料，在狭小的工位结构中，需要选择纤细的光纤以便于安装，对射式原理使得检测的稳定性更佳，搭配PG1放大器，可进行13us的超高速检测。

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控制化学品液位高度

液位传感器  CE30-26NO

当槽管内存在气泡时，使用光学传感器可能会造成误判，因此可采用专用于管道液位检测的电容式接近传感器，即使管道内产生气泡亦可稳定检测，且不受液体的颜色和密度影响，非接触式检测也让传感器不必考虑化学品与传感器发生反应。

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目标定位和距离测量

激光位移传感器  MLD23-100N

此工位上需要实时精确测量每一片晶片高度，明治的这款激光位移传感器有着65-135mm的大量程检测距离，满足实时监测晶片的任意位置，精度达到0.01mm，软件功能轻松示教，提高了调试的便捷性。

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明治传感器是一家专注于工业级光电传感器和深度学习技术的创新企业，主要聚焦在高精度定位、深度学习、精密测量、以及避障安全方案，为3C电子、新能源、半导体制程、医疗电子和服务机器人行业提供精密智能和AI传感技术。

明治传感器核心团队汇聚了一批业界资深科学家和工程师，由扎根工业传感领域20年的专家带队，拥有核心专利超过120项，超过20项发明专利。明治产品迭代速度快，每年在世界各地安装的传感器总数逾6,000,000只，在AI4.0时代用创新传感技术向用户提供精密智能和AI传感的产品，助力全球用户在工业4.0时代成为智慧工业和万物互联的行业领先者。