三维光学轮廓仪的测试方法

以白光干涉测量技术为基础的三维光学轮廓仪对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。

 

SuperViewW1三维光学轮廓仪

 

轮廓分析步骤介绍：
1.将样品放置在载物台镜头下方；
2.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
3.使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；
4.微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；
5.完成扫描设置和命名等操作；
6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7.台阶样品分析第一步：校平；
8.进入数据处理界面，点击“校平”图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除”再“包括”；
9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；
10.台阶高度测量：线台阶高度测量
11.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；
12.在右侧点击“手动检测”，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；
13.台阶高度测量：线台阶高度测量
14.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；
15.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2”，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。

 

粗糙度分析操作步骤：
1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2. 将夹具放置在载物台上；
3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5. 完成扫描设置和命名等操作；
6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。