白光干涉仪测量粗糙度的步骤是什么？

以白光干涉技术为原理的SuperViewW1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

 

SuperViewW1白光干涉仪

 

粗糙度分析操作步骤：

1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；

2. 将夹具放置在载物台上；

3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；

5. 完成扫描设置和命名等操作；

6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；

8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；

9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；

10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；

11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。