3d光学轮廓仪是干什么用的？

以白光干涉技术为原理的3d光学轮廓仪主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓，是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。它能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。

 

结果组成

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和MEMS表征。

 

薄膜粗糙度测量晶圆IC的轮廓检测晶圆IC减薄后的粗糙度检测

 

中图仪器3d光学轮廓仪结合结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，除测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

 

对wafer减薄后无图晶圆粗糙度测量封装制程中对Wafer的切割对Die的轮廓分析及蚀刻深度测量