垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。
激光干涉仪可以实现机床线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。
如机器轴垂直度误差测量(数控机床、坐标测量机等),SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度,即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较,得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴,在两次测量过程中既不移动、也不调整,光学直角尺测量中,允许调整激光束与直线度的准直,而不动直线度反射镜。
典型情况下对于1.5米长的机器轴,像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择,因为传统的实物基准,如直角尺(金属或大理石等)的长度一般局限于1米的范围内。
SJ6000激光干涉仪应用范围广:
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测;
②结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析;
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析。
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