激光跟踪仪与三坐标测量仪都是三坐标测量。激光跟踪仪应该也可以称为便携式三坐标, 只是数据处理方式不同。激光跟踪仪是利用激光测距,加角度编码器测量方位角和俯仰角,球坐标系。而三坐标是靠光栅尺,直接测量xyz轴。它在三个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置,有一个能够放置工件的工作台(大型和巨型不一定有),测头可以以手动或自动方式轻快地移动到被测点上,由读数设备和数显装置把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备。三坐标测量仪是用来测量工件物体的尺寸包括尺寸之间的关系的,如长度,对称度,直径,圆柱度等尺寸和形位公差。
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