Kasite微纳加工中心设备丨高精度微小孔深孔加工原来可以这么简单

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在航天航空、光学、生物医疗、半导体、通用机械加工、模具制造等领域工业制造中都有微孔深孔、微孔磨削加工的应用,直径越小、深度越大的微小孔对其要求加工的精密度就越高,难度越大,速科德创新研发的KASITE-SKD系列微纳加工中心设备在微孔深孔方便实现了独特的技术突破,解决了微型加工各种难题!原来高精度微小孔深孔加工可以这么简单!

一、Kasite微纳加工中心设备

KASITE-SKD系列微纳加工中心设备加工余量可达20nm-100μm,微孔打孔加工应用于LED芯片制造,触摸屏,LCD,消费类电子,半导体,MEMS,照明,医疗等行业等。

KASITE-SKD系列微纳加工中心由德国SycoTec高速电主轴(转速100000rpm,精度≤1μm)、视觉对刀统(高倍率远心镜头组成,2000W像素)、高精度光栅反馈(分辨率:10nm、20nm、50nm、100nm)、高精度高响应直线电机和视觉软件组成。

高精度Kasite微纳加工中心设备

二、Kasite微纳加工中心设备性能参数

高精度Kasite微纳加工中心设备技术参数

三、Kasite微纳加工中心设备加工案例

案例一、Kasite微纳加工中心设备高精度深孔加工

加工难点:

孔深系数(D/L)约等于100,正向精度±0.005mm,孔洞位置精度±0.02mm

加工工艺:

Kasite微纳加工中心设备综合精度高,加减速度控制精准,并通过对铣刀的选择,主轴转速,进给率等综合技术工艺设定,实现高精度无变形深孔加工,保证垂直度和孔的位置不偏移。

高精度高精度深孔加工高精度高精度深孔加工

案例二、Kasite微纳加工中心设备高精度微小椭圆加工

加工要求:

圆度公差≤2μm,短轴0.75mm,长轴0.9mm

加工工艺:

Kasite微纳加工中心设备主轴通过高分辨率CCD相机定位孔洞圆心坐标,开始以进刀量为1μm 画整个椭圆轨迹,高硬度材质加工均匀磨削,直到扩大到短轴0.75mm,长轴0.9mm的椭圆,椭圆精度误差在2μm以内。

高精度高精度微小椭圆加工

案例三、Kasite微纳加工中心设备高精度微针加工

加工要求:

微针形状圆锥形、圆柱形、三棱锥、四棱锥等。微针高度600-800μm,底边长200μm,针体间距500-800μm

高精度高精度微针加工

文章来源:速科德电机科技丨德国SycoTec(kavo)亚太服务中心

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