共聚焦显微镜的结构

VT6000共聚焦显微镜的构造组成主要包括：显微镜、激光光源、扫描装置、检测器、计算机系统(包括数据采集，处理，转换，应用软件)、图像输出设备、光学装置和共聚焦系统。

 

 

以共聚焦技术为原理，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的VT6000共聚焦显微镜，可对材料样品的表面形貌直接进行成像，横向分辨率可达1nm，Z轴分辨率可达0.5nm。不仅可对样品表面形貌进行测量，提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，还提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

 

其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。