共聚焦显微镜能看到多少纳米？

材料科学的目标是研究材料表面结构对于其表面特性的影响。因此，高分辨率分析表面形貌对确定表面粗糙度、反光特性、摩擦学性能及表面质量等相关参数具有重要意义。共焦技术能够测量各种表面反射特性的材料并获得有效的测量数据。

 

以共聚焦技术为原理的VT6000激光共聚焦显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。高度测量分辨率达到0.5nm。

VT6000激光共聚焦显微镜

应用

1.MEMS
微米和亚微米级部件的尺寸测量，各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD， PVD，CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析。
2.精密机械部件，电子器件
微米和亚微米级部件的尺寸测量，各种表面处理工艺，焊接工艺后的表面形 貌观察，缺陷分析，颗粒分析。
3.半导体/ LCD
各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD，PVD，CMP等）后表面形貌观察， 缺陷分析 非接触型的线宽，台阶深度等测量。
4.摩擦学，腐蚀等表面工程
磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。

 

 

技术指标

型号：VT6100
行程范围：100*100*100mm
视场范围：120×120 μm~1.2×1.2 mm

 

高度测量重复性(1σ)：12nm
高度测量精度：± (0.2+L/100) μm
高度测量分辨率：0.5nm

 

宽度测量重复性(1σ)：40nm
宽度测量精度：± 2%
宽度测量分辨率：1nm

 

外形尺寸：520×380×600mm
仪器重量：50kg